マイクロ加工コース

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・精密加工（高精度加工や脆性材料加工などの講義と３次元CAD・加工・検査の実習）
・リソグラフィ技術（フォトリソグラフィ技術によるパターン形成やレジストに関する講義と実習）
・エッチング技術（ドライエッチング装置の原理やプラズマに関する講義とイオンシャワー装置実習）


クリーンルーム