真空プロセスコース

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・表面改質・焼結(真空熱処理やプラズマによる表面改質・焼結の講義と焼結実習)
・薄膜形成プロセス技術(PVD・CVD技術に関する講義と薄膜形成実習)
・評価技術(in-situ計測やX線回折などの評価技術の講義と燒結材料・薄膜評価実習)



真空装置