19年度実証講義内容
真空工学コース | ||
講義名 | 講師 | 内容 |
実践型長期実習 真空装置の分解・組立 |
栗巣普揮 (山口大学・准教授) |
真空装置や真空部品のしくみや構成並びに取り扱い方を理解し習得するために、真空装置(小型の単元スパッタ装置)の分解・組立実習を行います。 |
真空プロセスコース | ||
講義名 | 講師 | 内容 |
薄膜形成装置のアレンジ(1)-手法- | 岡田繁信 (㈱島津製作所) |
真空工学コースと真空プロセスコースで習得された知識を、仕様書を作成する過程において、総合的に理解できるよう解説します。 |
薄膜形成装置のアレンジ(2)-演習- | 岡田繁信 (㈱島津製作所) |
理解した手法を用いて、5人程度のグループを3つ作り、それぞれに課題を与える。その課題に対して仕様書を作成してもらうことで、総合的理解が深められる。 |
実践型長期実習 | 栗巣普揮 (山口大学・准教授) |
波長選択ミラーの作製を実施することで、「薄膜デバイス設計」,「薄膜・多層膜形成」,「作製薄膜の評価」に係る手法・ノウハウや、装置のトラブル対策に係る手法・ノウハウと考え方について実習します。 |
マイクロ加工コース | ||
講義名 | 講師 | 内容 |
ドライエッチング装置のアレンジ | 高橋主人 (㈱日立ハイテクノロジーズ) |
半導体製造装置の構成について解説します。また、真空工学コースの内容を踏まえた真空排気系の設計について解説します。 |
実践型長期実習 | 浅田裕法 (山口大学・准教授) |
微細加工技術を利用するテーマを設定し実習を行ないます。ECRイオンシャワー装置によるエッチング評価、電子ビーム露光装置用マスク設計・作製、そしてデバイス作製実習と評価を行います。 |